本文微機(jī)電系統(tǒng)硅壓力變送器資料由優(yōu)質(zhì)變送器生產(chǎn)報(bào)價(jià)廠家為您提供。

高精度壓力/差壓變送器廣泛應(yīng)用于汽車(chē)工業(yè)、航空、石油化工、市政建設(shè)、軍事、裝備、節(jié)能環(huán)保、電力能源等自動(dòng)化控制環(huán)境和高端主要設(shè)備的關(guān)鍵環(huán)節(jié)。

近年來(lái)，中國(guó)經(jīng)濟(jì)處于高速發(fā)展階段，隨著中國(guó)高端制造業(yè)和工業(yè)化的發(fā)展，對(duì)高精度硅壓力和力傳感器及變送器的需求將迅速增加。我國(guó)自主研發(fā)的壓力/差壓變送器基本采用傳統(tǒng)電容，其精度、可靠性和環(huán)境適應(yīng)性遠(yuǎn)遠(yuǎn)落后于先進(jìn)的硅壓力傳感器。

我國(guó)自主研發(fā)的硅壓/差壓變送器的精度和可靠性不能滿足需求，傳感器等核心元件仍依賴進(jìn)口。每年，石油、石化、能源、軍事等行業(yè)都要進(jìn)口高精度的MEMS硅壓力變送器近百萬(wàn)單位。出于工業(yè)安全、國(guó)家安全、價(jià)格壁壘、服務(wù)等因素，對(duì)高精度變送器國(guó)產(chǎn)化的需求日益增加。

與國(guó)外相比，我國(guó)高精度、高可靠性硅壓力傳感器和系統(tǒng)的技術(shù)水平差距較大，在可靠性和生產(chǎn)過(guò)程一致性方面比國(guó)外低1~2個(gè)數(shù)量級(jí)，產(chǎn)業(yè)化程度不到15%。此外，國(guó)內(nèi)高精度、高可靠性的硅壓力傳感器和系統(tǒng)在測(cè)量精度、靈敏度、使用壽命等指標(biāo)上均低于國(guó)外主流產(chǎn)品，其中最突出的是測(cè)量精度指標(biāo)與國(guó)外品牌的明顯差距。以壓力變送器測(cè)量精度為例，國(guó)內(nèi)廠商的產(chǎn)品精度通常為0.5%FS~0.1%FS，而國(guó)外品牌的產(chǎn)品一般達(dá)到0.075%FS，有些品牌甚至達(dá)到0.04%FS~0.025%FS[2]。

大膽嘗試打破國(guó)外品牌對(duì)高精度微機(jī)電系統(tǒng)硅壓力變送器的壟斷。目前，實(shí)踐單位在高精度硅壓力變送器的關(guān)鍵技術(shù)上有所突破，小批量生產(chǎn)的精度達(dá)到0.075%FS，產(chǎn)品合格率達(dá)到85%以上。因?yàn)橛糜谧兯推髅舾性陌雽?dǎo)體材料具有溫度敏感特性，所以有必要補(bǔ)償變送器的溫度，以確保其達(dá)到預(yù)定精度。實(shí)習(xí)單位對(duì)變送器的溫度補(bǔ)償采用軟硬件結(jié)合的補(bǔ)償方法。

根據(jù)現(xiàn)有的軟件補(bǔ)償方法，許多試驗(yàn)證明，為了保證壓力變送器的精度滿足預(yù)定要求，需要5-7個(gè)溫度補(bǔ)償點(diǎn)，每個(gè)溫度點(diǎn)需要校準(zhǔn)9-17個(gè)壓力點(diǎn)。根據(jù)溫度補(bǔ)償?shù)牟僮饕?guī)范，變送器應(yīng)在每個(gè)溫度補(bǔ)償點(diǎn)在培養(yǎng)箱中保溫兩小時(shí)，以確保其被完全加熱，即變送器的內(nèi)部和外部溫度達(dá)到相同水平。但是，目前使用的補(bǔ)償方法需要更多的溫度補(bǔ)償點(diǎn)來(lái)保證壓力變送器的精度，從而延長(zhǎng)了變送器的生產(chǎn)周期，影響了公司的生產(chǎn)效率，增加了生產(chǎn)成本，不利于公司的市場(chǎng)拓展。因此，在保證壓力精度高/差壓變送器(高于0.075%FS)的前提下，溫度補(bǔ)償點(diǎn)或時(shí)間的每一次減少對(duì)生產(chǎn)都具有重要意義。

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